کاربردها
* تجزیه کیفی و نیمه کیفی برای تشخیص و حدس درباره زمینه و عناصر با مقادیر بسیار کم نمونه
* به عنوان وسیلهای برای دنبال کردن تغییرات ناشی از عوامل خارجی در ساختار نمونه
* به عنوان وسیلهای برای تشخیص ( اثر انگشت خاص ) ، یک نمونه
* برای حصول اطلاعات مربوط به اجزای مولکولی موجود
* به عنوان وسیلهای برای ترسیم ساختار شیمیایی نمونههای ناهمگن
این روش در تجزیه فلزات به منظور تعیین کربن و اکسیژن و نیتروژن آنها بکار میرود. در اندازه گیری ایزوتوپی ، عناصری مانند اورانیوم و پلوتونیوم استفاده میشود. برای تعیین ترکیبات آلی با وزن مولکولی بالا در ریز بلورها استفاده میشود. دسته زیادی از ترکیبات معدنی شامل غیرفلزات ، فلزات ، اکسیدهای فلزی و نمکها و کمپلکسها و همچنین پلیمرها توسط روش دفع سطحی با لیزر ، طیفسنجی جرمی مورد مطالعه قرار گرفتهاند.